티타늄 표적 은 스프터링 표적 티타늄 디스크

티타늄 표적 은 스프터링 표적 티타늄 디스크 의학 응용 분야에서 고 순수 스프터링

물리 증기 퇴적 (PVD) 공정의 영역에서, 티타늄 스프터링 타겟은 다양한 의료 응용 분야에서 사용되는 얇은 필름의 생산에 중요합니다.이 얇은 필름은 성능을 향상시키는 데 중요합니다., 내구성 및 임플란트, 스텐트, 인공지능 및 외과 도구와 같은 의료 기기의 생물 호환성. 다양한 티타늄 등급 중 5등급 (Ti-6Al-4V) 및 7등급 (Ti-0.15Pd) 는 특히 독특한 특성으로 인해 스프터링에 사용되는 의료용 용도로 이상적입니다..

티타늄-알루미늄 합금 타겟은 특정 특성을 가진 얇은 필름을 퇴적하기 위해 스프터링 프로세스에서 사용되는 전문 재료입니다.이 목표물은 티타늄 (Ti) 과 알루미늄 (Al) 의 조합으로 만들어집니다., 그리고 그들은 다양한 산업용 용도로 가치가있는 독특한 특성을 제공합니다.

티타늄 알루미늄 합금 목표물의 특성:

1. 고 순수성:

   • 티타늄-알루미늄 합금 표적은 높은 순도, 일반적으로 99.5% 또는 더 높은 순도로 생산됩니다.이 높은 순도는 스프터링 과정에서 퇴적 된 얇은 필름이 불순물이 없도록 보장합니다.정확한 코팅이 필요한 응용 프로그램에서 우수한 성능과 균일성을 제공합니다..

2. 미세 입자 크기:

   • 합금 타겟은 미세한 입자 크기로 제조되며 분사 과정의 효율성을 향상시킵니다.더 작은 입자 크기는 필름이 기판에 더 균일하게 퇴적 할 수 있습니다., 코팅의 품질을 향상시킵니다.

3. 간편한 합금:

   • 티타늄-알루미늄 합금은 좋은 합금 특성을 나타내므로 밀도와 고체 형태로 쉽게 처리 할 수 있습니다. 이것은 목표물이 내구성 있고 신뢰할 수 있는지 확인하는 데 중요합니다.그리고 분해되지 않고 스프터링 과정의 스트레스에 견딜 수 있습니다..

4. 잘 형성 가능성:

   • 티타늄-알루미늄 합금 타겟은 우수한 형성성으로 알려져 있습니다.이 특성은 다양한 모양과 크기로 제조 할 수 있습니다.다양한 스프터링 시스템과의 호환성을 보장하고 광범위한 응용 분야에서 다양성을 향상시킵니다..

티타늄 알루미늄 합금 목표의 응용:

티타늄-알루미늄 합금 스프터 타겟은 마모 저항, 부식 저항 및 강한 코팅을 형성하는 능력과 같은 독특한 특성으로 인해 다양한 산업 분야에서 사용됩니다.몇 가지 주요 응용 분야는:

1. 절단 도구:

   • 티타늄-알루미늄 합금 코팅은 일반적으로 절단 도구에 사용됩니다. 그들은 마모 저항, 부식 저항 및 열 안정성을 향상시킵니다.이 코팅은 드릴과 같은 도구의 수명을 연장합니다.고속 가공에서 더 효율적으로 작동하도록 합니다.

2. 시멘트 탄화탄소 굴착기 및 도구:

   • 시멘트 탄화물 굴착기와 도구는 가시 및 고온 조건에서 도구의 성능을 크게 향상시키기 때문에 티타늄-알루미늄 합금 코팅의 혜택을 얻습니다.이 코팅은 또한 단단한 재료를 파거나 가공할 때 도구의 절단 능력과 탄력성을 향상시킵니다..

3. 시멘트 탄화탄소 세라믹 도구:

   • 이 코팅 은 시멘트 된 탄화화물 로 만든 세라믹 도구 에 적용 되어 그 가 경개 저항력, 견고성, 강도 를 향상 시킨다.이것은 특히 매우 단단한 재료를 처리하는 도구가 필요한 응용 프로그램에서 유용합니다., 예를 들어 항공우주 또는 자동차 산업에서.

4. 시멘트 탄화화물 폼:

   • 티타늄-알루미늄 합금 코팅은 또한 시멘트 된 탄화화물에서 만들어진 폼에 사용됩니다. 금속 발사 과정에서 사용되는 이러한 폼,티타늄-알루미늄 코팅이 제공하는 향상된 마모 저항과 염화 저항의 혜택을 누립니다., 이는 더 긴 서비스 수명과 제품의 품질 향상에 기여합니다.

5. 파우더 금속공학 초고장 재료의 부품:

   • 티타늄-알루미늄 합금 은 분말 금속 공학 을 통해 초고속 물질 을 생산 하는 데 필수적 이다. 코팅 은 최종 제품 의 경화 저항성, 열 안정성 및 경화 저항성 을 향상 시킨다,광산, 굴착, 절단 도구와 같은 산업의 응용에 적합하게 만듭니다.

6. 금속 복합 세라믹:

   • 이 합금은 종종 금속 복합 세라믹의 제조에 첨가물로 사용됩니다. 금속과 세라믹 특성의 조합은 강화 된 강도, 열 저항성,그리고 전기 전도성, 전자 및 기계 시스템에서 까다로운 응용에 적합합니다.

7. 고온 내성 합금용 첨가물:

   • 티타늄-알루미늄 합금은 고온 내성 합금의 생산에서 핵심 첨가물로 사용됩니다. 이러한 합금은 일반적으로 제트 엔진, 가스 터빈,그리고 열 교환기, 열 안정성 및 강도가 중요합니다. 티타늄과 알루미늄의 추가는 합금의 전체 온도 저항과 구조적 무결성을 향상시킵니다.

2목표의 주요 성능 요구 사항

(1) 순수성 순수성은 목표물의 주요 성능 지표 중 하나입니다. 목표물의 순수성은 영화의 성능에 큰 영향을 미치기 때문입니다.대상 재료의 순도 요구 사항도 다릅니다.예를 들어, 마이크로 전자 산업의 급속한 발전으로, 실리콘 웨이퍼의 크기는 6 "에서 8"에서 12 "로 증가했으며, 전선 너비는 0.5um에서 0.25um, 0.25mm까지 줄었습니다.18um 또는 00.13um, 이전 목표 순도 99.995% 0.35umIC의 기술적 요구 사항을 충족 할 수 있으며 0.18um 라인의 준비는 목표 순도 99.999% 또는 99.9999%까지 필요합니다.

(2) 불순물 함량은 목표 고체와 산소 및 수증기 포스의 불순물이 퇴적 된 필름의 주요 오염원입니다.다른 목표물에는 다른 불순물 함량에 대한 다른 요구 사항이 있습니다.예를 들어 반도체 산업에서 사용되는 순수한 알루미늄 및 알루미늄 합금 표적에는 알칼리 금속 함량과 방사성 원소 함량에 대한 특별한 요구 사항이 있습니다.

(3) 밀도 표적의 고체에 있는 구멍을 줄이고 스프터 필름의 성능을 향상시키기 위해 표적은 일반적으로 더 높은 밀도가 필요합니다.목표물의 밀도는 스프터링 속도뿐만 아니라 영향을 미칩니다, 그러나 또한 필름의 전기 및 광적 특성에 영향을 미칩니다. 목표 밀도가 높을수록 필름 성능이 좋습니다.표적의 밀도와 강도를 높이면 표적이 스프터링 중에 열 스트레스에 더 잘 견딜 수 있습니다.밀도는 또한 목표의 주요 성능 지표 중 하나입니다.

(4) 곡물 크기와 곡물 크기의 분포 대상 물질은 일반적으로 폴리 크리스탈린이며 곡물 크기는 미크론에서 밀리미터 순위일 수 있습니다. 동일한 대상 물질의 경우,미세한 곡물을 가진 표적의 분출 속도는 거친 곡물을 가진 표적보다 빠르다.; 곡물 크기의 작은 차이 (일률적 분포) 를 가진 표적을 스프터링함으로써 퇴적된 필름의 두께는 더 균일합니다.

의약품 용용 타이탄

티타늄, 특히 1등급과 2등급은 생물 호환성, 강도 및 가벼운 특성으로 의학 및 생의학 분야에서 높은 평가를 받고 있습니다.그것은 일반적으로 신체에 해를 끼치지 않고 알레르기 반응을 일으킬 가능성이 없기 때문에 의료 장치에 사용됩니다..

티타늄 의 주요 의학적 사용:

1. 정형 임플란트: 티타늄 은 뼈 의 특성 을 모방 하기 때문 에 흔히 뼈 나사, 판, 관절 교체, 척추 임플란트 에 사용 된다.
2. 치과 임플란트: 티타늄의 생체 호환성 및 강도는 높은 내구성 및 부식 저항성을 필요로 하는 치과 임플란트에 완벽한 선택이 됩니다.
3. 의료 도구: 부식 저항성 때문에 수술 도구, 바늘, 스칼펠 및 기타 의료 도구는 종종 티타늄 또는 티타늄 합금으로 만들어집니다.
4. 인공지능: 티타늄은 가볍고 강하기 때문에 인공지능과 임플란트 생산에 사용된다.
5. 심혈관 기기: 티타늄은 인체에서 반응이 없는 특성으로 인해 심근 경동기 케이스, 스텐트 및 밸브의 생산에 사용됩니다.
6. 마모 저항성 코팅: 티타늄 스프터링 타겟은 마모 저항성을 높이고 마찰을 줄이고 생체 호환성을 향상시키기 위해 의료 기기에 얇은 코팅을 저장하는 데 사용할 수 있습니다.

티타늄 등급:

티타늄은 매우 다재다능한 금속이며, 그 성분과 특성에 따라 다양한 등급으로 분류된다. 이 등급은 일반적으로 세 가지 주요 범주에 분류된다:상업적으로 순수한 (CP) 티타늄, 티타늄 합금 및 특수 티타늄 합금. 다음은 가장 일반적인 티타늄 등급의 개요입니다:

1상업적으로 순수한 (CP) 티타늄

상업적으로 순수한 티타늄은 최소한의 합금 요소를 가진 티타늄의 가장 기본적인 형태입니다. 그것은 일반적으로 우수한 부식 저항성과 생물 호환성을 필요로하는 응용 프로그램에서 사용됩니다.하지만 티타늄 합금처럼 강하지 않습니다..

• 1급 (CP1):

  • 구성: 최소 99.5%의 티타늄, 아주 적은 양의 철과 산소.
  • 성질: 1등급은 상업적으로 순수한 성급 중 가장 부드럽고 가장 유연합니다. 특히 바닷물 같은 매우 부식성 환경에서는 뛰어난 부식 저항을 제공합니다.
  • 응용 분야: 화학 처리, 해상 응용 분야, 의료 임플란트, 항공 우주 부품

• 2급 (CP2):

  • 성분: 최소 99.2%의 티타늄
  • 성질: 2등급은 1등급보다 약간 높은 강도를 가지고 있지만, 여전히 우수한 부식 저항성을 유지하고 있다. 상업적으로 가장 널리 사용되는 순수한 티타늄 등급이다.
  • 응용 분야: 열 교환기, 항공우주, 의료기기 (이식장치, 외과 기기) 및 해상용 제품.

• 3급 (CP3):

  • 성분: 최소 99%의 티타늄
  • 성질: 2등급보다 높은 강도이지만 약간 변형성이 낮다.
  • 응용 분야: 화학 가공, 해양, 발전 및 의료용.

• 4급 (CP4):

  • 구성: 최소 98.5%의 티타늄
  • 성질: 상업적 으로 순수 한 품종 중 가장 강하고, 탁월 한 강도 가량 비율 을 제공한다.그레이드 2에 비해 경화 저항성이 약간 낮지만 대부분의 산업 및 의료 용도로 여전히 우수합니다..
  • 응용 분야: 항공우주, 화학 산업, 해상, 의료 임플란트, 자동차 부품

2티타늄 합금

티타늄 합금은 일반적으로 상업적으로 순수한 티타늄보다 강하며 강화 된 강도, 더 나은 피로 저항, 때로는 우수한 부식 저항과 같은 향상 된 특성을 가지고 있습니다.이 합금은 일반적으로 티타늄과 합금 된 요소에 의해 분류됩니다.알루미늄, 바나디오, 몰리브덴, 철 또는 지르코늄과 같이

알파 합금

이 티타늄 합금은 주로 알루미늄과 합금되어 있으며 높은 온도에서 우수한 강도와 부식 저항을 제공합니다. 그들은 높은 알파 단계 함량을 가지고 있습니다.

• 5급 (Ti-6Al-4V):

  • 구성: 90% 티타늄, 6% 알루미늄, 4% 바나디움
  • 특성: 가장 널리 사용 되는 티타늄 합금 중 하나인 5등급은 강도, 가벼운 무게, 그리고 부식 저항력 에서 탁월한 균형을 제공합니다.또한 그 기계적 특성을 더 향상시키기 위해 열 처리 할 수 있습니다.
  • 응용 분야: 항공 (항공, 로켓), 의료 임플란트 (장형 및 치과), 해상, 발전 및 스포츠 장비.

• 6급 (Ti-5Al-2.5Sn):

  • 구성: 5% 알루미늄, 2.5% 진, 그리고 균형 티타늄.
  • 성질: 등급 5보다 더 나은 용접성을 제공하며 여전히 약간의 부식 저항이 필요한 고온 애플리케이션에 사용됩니다.
  • 응용 분야: 항공 우주 부품, 고온 응용 분야, 가스 터빈 엔진.

베타 합금

베타 합금은 높은 온도 산화에 대한 강도, 형성성 및 저항성을 향상시키는 베타 단계 안정제 (바나디오, 몰리브덴, 또는 크롬과 같은) 를 더 많이 가지고 있습니다.그들은 일반적으로 높은 강도를 요구하는 응용 프로그램에서 사용됩니다..

• 9급 (Ti-3Al-2.5V):

  • 구성: 3% 알루미늄, 2.5% 바나디움, 티타늄
  • 특성: 5등급 보다 높은 강도 를 제공 하지만 더 잘 형성 되고 용접 될 수 있다. 중등 수준의 부식 저항을 가지고 있다.
  • 응용 분야: 항공우주, 스포츠 장비, 화학 가공 및 의료용.

• 12급 (Ti-0.3Mo-0.8Ni):

  • 구성: 0.3% 몰리브덴, 0.8% 니켈, 그리고 균형 티타늄.
  • 성질: 12등급 은 강도, 용접성, 그리고 부식 저항성 을 탁월 한 조합 으로 제공한다.
  • 응용 분야: 화학 가공, 해양용, 의료용 임플란트.

알파 베타 합금

이 합금은 알파와 베타 단계의 혼합물이며 강도, 형성성 및 부식 저항의 균형을 제공합니다.알파 베타 합금은 구조 및 고성능 응용 분야에서 가장 일반적으로 사용되는 티타늄 합금입니다..

• 23급 (Ti-6Al-4V ELI):
  • 구성: 6% 알루미늄, 4% 바나디움, 탄소, 산소, 질소와 같은 초저분간 원소.
  • 성질: 이것은 5등급의 초저간간성 (ELI) 버전입니다. 향상된 생체 호환성을 제공하여 의료 임플란트에 특히 유용합니다.23등급 은 탁월 한 강도 가량 비율 과 탁월 한 피로 저항력 으로 유명 합니다.
  • 응용 분야: 정형외과, 항공, 치과, 스포츠 장비.

3특수 티타늄 합금

이 합금은 매우 특정 특성을 필요로 하는 틈새 애플리케이션을 위해 특별히 개발되었습니다.

• 7급 (Ti-0.15Pd):

  • 성분: 티타늄과 0.12-0.25% 팔라디움
  • 성질: 고산성 환경, 특히 염화물 함유 환경에서의 우수한 부식 저항성으로 알려져 있습니다. 또한 다른 합금보다 더 생물 호환성이 있습니다.의학적 용도로 적합하게 만드는.
  • 응용 분야: 의료기기, 항공우주, 화학처리 및 해상용.

• 11급 (Ti-0.3Pd):

  • 성분: 0.3% 팔라디움, 그리고 균형 티타늄.
  • 성질: 7등급과 유사하며, 경화 저항성을 향상시키기 위해 약간 더 높은 팔라디움 함량을 가지고 있다. 일반적으로 더 까다로운 환경에서 사용된다.
  • 응용 분야: 항공우주, 화학 처리 및 해양 환경.

• 13급 (Ti-0.3Ni):

  • 성분: 0.3% 니켈과 티타늄
  • 성질: 좋은 경식 저항성을 제공하며 특정 화학 환경에서 높은 강도와 우수한 성능을 요구하는 응용 프로그램에서 사용됩니다.
  • 응용 분야: 해양 용도, 화학 처리

4목적

그것은 장식 코팅, 착용 저항 코팅, 전자 산업의 CD 및 VCD, 그리고 다양한 자기 디스크 코팅에 널리 사용됩니다.

텅스텐 티타늄 (W-Ti) 필름과 텅스텐 티타늄 (W-Ti) 기반 합금 필름은 대체할 수 없는 우수한 특성을 가진 일련의 고온 합금 필름입니다.텅스텐은 높은 녹는점과 같은 특성을 가지고 있습니다., 높은 강도 및 열 팽창의 낮은 계수. W / Ti 합금은 낮은 저항 계수, 좋은 열 안정성 및 산화 저항을 가지고 있습니다.각종 장치와 같이 전도 역할을 하는 금속 전선을 필요로, 알, 쿠, 그리고 아그와 같이 널리 사용되고 연구되었습니다. 그러나 배선 금속 자체는 쉽게 산화, 주변 환경과 반응,그리고 다이렉트릭 층에 부적절한 접착력을 가지고 있습니다그것은 쉽게 Si와 SiO2와 같은 장치의 기판 재료에 분산, 그것은 낮은 온도에서 금속과 Si를 형성합니다.장치의 성능을 크게 저하시키는W-Ti 합금은 안정적 인 열 기계적 특성, 낮은 전자 이동성, 높은 부식 저항성 및 화학적 안정성으로 인해 배선 확산 장벽으로 사용하기 쉽습니다.특히 높은 전류와 높은 온도 환경에서 사용하기에 적합합니다..

결론:

티타늄 합금 스프터링 타겟은 TiAl 합금을 포함하여 항공우주에서 전자 및 생의학에 이르기까지 다양한 산업에서 코팅 애플리케이션에 널리 사용되는 다재다능한 재료입니다.이 재료 들 은 강도 와 같은 탁월 한 특성 을 갖는다., 부식 저항성, 생물 호환성 및 마모 저항성, 고성능 얇은 필름을 필요로하는 까다로운 응용 프로그램에 이상적입니다.티타늄 스프터링 타겟을 선택할 때, 합금 성분, 순수성 및 목표 기하학과 같은 요소는 분출 과정에서 최적의 결과를 달성하기 위해 고려해야합니다.